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微机电系统(MEMS)技术的研究与应用
微机电系统是源于微电子加工技术,融合了微机械制造、传感、致动及微控制于一体的系统.其特征尺寸极小,学科交叉广泛;技术研究包括微系统理论、设计建模、微机械加工、微器件集成等多个方面;学科分类涵盖了机械、力学、光学、流体、电磁学、生物学等各领域,在民品和军品领域有许多热点应用.本文介绍了微机电系统发展概况、微机电系统技术关键、微机电系统有关传感器,以及微机电系统热点应用和微机电系统技术的.发展前景.
作 者：高世桥 曲大成 作者单位：高世桥(北京理工大学机电工程学院)曲大成(信息科学技术学院,北京,100081)
刊 名：科技导报 ISTIC PKU英文刊名：SCIENCE & TECHNOLOGY REVIEW 年，卷(期)： “”(4) 分类号：H TP TM O3 关键词：微机电系统 MEMS 微机械加工 智能控制CVD金刚石薄膜在微机电系统(MEMS)中的应用
金刚石薄膜由于其独特的物理、化学和电学等特性,使其作为在极具发展潜力的MEMS中一种理想的材料,越来越得到人们的重视.此外近来各种金刚石薄膜的合成和加工方法已不断发展,使金刚石薄膜MEMS已逐步从原理的证明转向了实际的应用.本文简述了金刚石膜在MEMS中应用的`技术基础及其在MEMS中应用的最新进展,着重介绍了金刚石喷嘴在生物芯片中的应用;半导体金刚石探针(既可用作隧道扫描显微镜探针又可作为一种抛光表面的微型工具);世界上最微型的金刚石外科手术刀及微型电夹.
作 者：郭江 作者单位：成都理工大学信息工程学院,四川,成都,610059 刊 名：功能材料 ISTIC EI PKU英文刊名：JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS 年，卷(期)： 34(3) 分类号：O484.42 关键词：金刚石薄膜 微机电系统 选择生长摘 要 随着当前中国经济的不断发展，在机械生产工艺中逐步应用了机电一体化系统，这是一种采用多功能的接口配置，并且在控制方式上演变到如今的机电单元功能原理的求解过程，有效的将电子设备、机械设备装置以及计算机软件操作系统整合在一起，在机构上形成动力功能与微电机计算功能为一体的自动化装置，这种系统的应用原理将中国经济的现代化建设逐步引向世界最前沿。
关键词 机电一体化系统;接口配置;控制方式;动力功能;应用原理
现如今机电一体化这个新兴的产业技术已逐步应用到现代工业生产中，在诸多领域中都有应用，该系统融合了多种现代数据参数控制的技术，其中包括计算机控制技术、微电子接口配置技术、动力传感测控技术、应用自动化控制技术以及机械设备数控参数优化技术，这种系统可以根据用户的需求自动调整设备的动态变化过程，与传统的生产工艺相比，传统的模块比较单一，只能实现单独的生产模式，比如在数控车床生产工艺中，只是有效整合了机械设备数据参数的优化以及应用自动化控制功能，所以在生产加工过程中，只是履行单独的生产调配功能。
在动力传感测控技术以及微电子接口配置技术上没有进行有效的整合，使之在生产过程中出现阻力加大，得不到足够动力上的供应，使之出现生产效率低，工程任务量大的现象，但是在经过技术的不断整合后，结合了多方面的动态数据参数控制技术，其中在电子接口配置模式上整合了现代化生产接口配置的特性，实现了各个机电系统之间能够有效的进行物质和能量之间的信息传递，采用了统一接口配置模式的调整，使之在生产过程中发挥出巨大的经济效益。
1 机电一体化主要组成部分
1.1 机械配置部分
机械配置在机电一体化结构中充当着十分重要的角色，是构成该系统总体结构的框架部分，其中包括机械设备的核心处理器、外部的机身框架结构以及机械连接线的配置都是机械主体的重要组成部分，机电一体化在机械主体配置中主要设计机身的外置轮廓，在轮廓设计结构过程中利用多种配置设计参数，有效的将各种组成部分有效的整合到一起，其中在外观轮廓设计中，利用CAD操作软件将大致轮廓模拟到液晶显示平面上，然后通过通信网传输到设备动态参数模块中，与之进行操作流程的执行。
1.2 动力控制部分
对于动力控制部分，一般在机电一体化系统中充当着一种提供能源的机构，这种组成部分有效的整合了传感控制部分，当在实际设备进行正常工作时，会出现欠压、功率不足等现象，这时设备中机电一体化系统的传感器将这种欠缺动力的数据资料通过有线传输，依次经过线路传输部分、核心处理部分，最后由核心处理系统下达命令指标，调整动力控制系统部分，使之能够在短时间内，达到生产流程中的足够的应用力度，并且动力控制部分，能够有效调整动力分配参数，当设备在欠缺动力时，会自动分析动力欠缺的原因，以及对动力欠缺的多少做出及时性的调整，以满足实际的生产需要。
1.3 传感控制部分
传感控制部分可以规划至数据信息的传输，对于传感装置主要是有针对性的监测，及时了解动态数据的变化，在有限的时间内反馈到终端系统中，这种测定的结构主要还是由一些测控装置掌握，传感控制分为很多种其中包括光控制器，对于光源的敏感程度，在照光亮度比较良好的条件下，传感控制器会显示一种动态变化过程，当遇到光线照射强度差时，又会出现另外一种显示变化过程，随着环境的不同调配产生与之不同的变化过程，传感控制在多方面都有应用。
2 功能原理接口配置模型及分析进程
2.1 接口配置模型的分析
在机电一体化模块中由上面介绍的多种重要组成部分，并且把多种部分结构有效的整合到一个系统模式中，使之能够实现彼此之间信息的传递，所以大部分的系统结构设计都是采用的是相同或相异的协同调做功能，完成彼此之间的需要，设计接口的分配流程如下图所示，这种流程的分配与传统机电的流程相比较，不但在整体布局上有了一个更深层次的认识并且还综合了多个参考接口配置的配置模式，使之在无人看守状态下，自动完成模式转化功能。
对于图中的接口配置主要定义了系统在结构优化原理上对系统各部分的功能、配置原理、动态变化程序都能够在模型下作出简单的分析过程，并且这种方式的探索可在运行程序中自动求解出分析过程，是机电一体化系统中最核心的配置模型。
2.2 机械配置原理分析
在数控车床加工相应零部件时，不仅需要大型操作设备的配合还需要微观电子计算机的使用，在操作设备中主要依据刀口的排序方式，对零部件加工时采用不同的道具，而这些刀具的使用是由计算机微观控制的，做到了机与电的有效结合，对于电子的使用是对数据参数的设定，在仪表X、Y、Z轴中设定动态变数变化，X轴是水平的变化结构单纯操作平面的设计结构，可以设定长度的微量变化，Y轴设定的是宽度上的调整，对于削去沟槽的宽度，以及旋转角度都可以在Y轴上操作，在Z轴上设定的只是高度的变化。
对于内边沿和外边沿在高度上的差距，都可以在此坐标设定的数值上进行调整，然而对于内部结构的勾勒只能依靠计算机CAD的制图操作系统，主要在测定标准体系中，结构的具体模型还得完全依靠图纸的详细介绍，这充分结合了机器与电子行业有效性结合，所以在参考动态数据变化过程中，主要参照图纸中一些数据性的变化，对于整改的部分，可以很方便的在计算机制图操作系统中做出合理性的调整，做好调整之后的数据模型传送至设备动态微观控制器上，做出不同结构层次坐标轴的调整，使之完成合理的布局方案。
2.3 动力控制系统原理分析
在生产工艺过程中难免出现一些意外性的障碍，其中对于动力系统的调解，机电一体化系统可以很好地做出动态分析过程，并且在存在欠缺的故障点做出及时性的排查，对于一些机械强度大的设备才正常运行时，由于线路老化等原因，造成主体运行部分瘫痪，使之难以运行工作，但是一般的检测设备很难辨认出故障的原因，并且也不会采取相应的变更措施，但在一体化系统中合理的做到了有效性的布局结构，其分析的原理是根据供电线路的电压加以识别。
对于大型机械设备中磁感线圈每秒震动的频率会到达3000多次，正常工作时的电压会达到30 kW，动力系统的支撑点依靠的是每秒的震动次数，然后传送至电压适配器当中，然后根据计算机中设定的参考值作出调整，以此来调整皮带轮的转速，由公式v=rω=2πr/T，得出运转的角速度和线速度，当设备出现动力不足时，系统会自动做出排查，解析现在的运转的带速与系统中设定的转速参数做出对比，然后根据浮动的偏差作出调整，通过调整线圈运转的角速度带动皮带轮线速度的变化，以此来满足系统动力供应的需求。
2.4 传感控制原理分析
这种原理技术主要基于传输设备的应用，传感控制器里面包含了对噪声强度以及光线强度的分析，对于设备正常工作时产生的震动赫兹都是经过应用系统处理过之后使用的，其噪声源传感器依据震动产生的赫兹强度做出排查，人类听觉的范围在20 Hz～0 Hz，分贝值在20 dB～30 dB，但是超过90 dB时就会产生强烈的噪声源。
但是传感器会根据产生不同的分贝值做出检测分析，噪声传感器里面设定的有振动膜、频谱分析仪，其中振动膜根据内部震动的幅度做出变化，当幅度过高就会使振动膜产生强烈的震动效应，下图为震动频率与产生分贝值之间的关系，对于频谱分析仪主要分析分贝值知否达到噪声的标准界限。
在频谱分析仪器上会显示正弦波与余弦波的幅值的变动情况，如果设备内部中产生强烈的震动达到振动膜的标准参考频率，便会把这种数据结构传送至频谱分析仪上做出估测分析，以便及时做好防范处理准备工作。
3 结束语
随着机电一体化系统的不断发展，在企业诸多领域中都有广阔的发展应用场景，不仅带动了国内企业市场的发展，而且为我国科技技术的研发建立了良好的开端。
参考文献
燕山小学 赵莎莉
教学实践证明，综合运用各种教学手段，适当地选用电教媒体，使教学更加丰富多彩，效果更好。它能激发学生的求知兴趣，突出训练重点，突破教学难点，有效地缩短学生的认知过程，更好地发挥教师的主导作用和学生的主体作用，提高课堂质量和教学效率，起到了十分重要的作用。
一、 选用教学效果最优的现代化教学技术
所谓最优，是指在某一知识内容的教学中，几种教学媒体都可用的情况下，选用教学效果最好的媒体。如《火烧云》一课，火烧云颜色和形状是文章的重点、难点。我利用CAI设计了9种颜色的投影，将书上所描写的颜色都展示在学生的眼前。学生对于葡萄灰、茄子紫、半灰半百合色都有了进一步的了解，更加喜爱火烧云绚丽多彩的景色。而形状方面，我根据文中所提供的材料制作了马、狗、狮子等形状的火烧云，并配以声音。学生通过逼真的画面，了解了火烧云变化多端，形态各异。这样突破了重点，解决了难点。
将CAI技术引用课堂教学以后，电化教学的效果大为改观。它具有特殊的魅力，可以解决传统教学中无法解决的`问题。如古诗教学中，一般都强调通过学习想象古诗所描绘的意境，从而培养学生的想象能力。现在运用计算机教学，我们将诗上的画面制作成一些动画片，通过生动的画面来取代教师枯燥的讲解，帮助学生在头脑中建立了概念。如教《小池》这首诗，我先让学生自己想象一下小池那美丽的景色。然后打开计算机请学生欣赏一个小动画：在一个阳光明媚的春天，从池塘那小小的泉眼中缓缓涌出细细的泉水，绿树那茂密的枝叶遮住阳光，形成的树荫映在清清的水面上，荷叶刚刚冒出小小的尖角。这时飞来了一只小小的蜻蜓落在上面。为更深入地理解古诗内容，进行情感朗读打下了基础。
二、 现代教育（www.35d1.com－上网第一站35d1教育网）技术也要达到发展学生思
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电阻率成像技术研究与应用
层析成像方法的'应用,使得物探技术变得更加简捷、高效和经济.本文介绍了电阻率成像的基本概念,讨论了该方法的技术原理,并详细阐述了电阻率成像技术应用于煤矿采空区勘察的操作方式、观测装置、数据处理等技术要素.结合某煤矿采空区勘察的工程实际,介绍了煤矿采宅区探测时的测区及布线概况.通过对7条测线数据的解释,详细分析了测量结果,并对电阻率成像技术的发展前景做出了有益的探索.
作 者：秦建增 杨磊 贺为民 陈学林 QIN Jian-zeng YANG Lei HE Wei-min CHEN Xue-lin 作者单位：秦建增,贺为民,QIN Jian-zeng,HE Wei-min(中国地震局地球物理勘探中心,郑州,450002)杨磊,YANG Lei(华北水利水电学院,郑州,450011)
陈学林,CHEN Xue-lin(河南省地质环境监测院,郑卅,450002)
刊 名：CT理论与应用研究 ISTIC英文刊名：COMPUTERIZED TOMOGRAPHY THEORY AND APPLICATIONS 年，卷(期)： 17(3) 分类号：P319 关键词：高密度电阻率法 层析成像 勘察 采空区个人概况
姓名：
性别：女
民族：汉
籍贯：广西钦州
出生年月：1992.8
政治面貌：团员
学历：中专
健康状况：良好
毕业院校：广西第一工业学校
专业：机电技术应用
通讯地址：
邮编：
联系电话：
e-mail：
基本技能
维修电工中级证
特殊工种（电工）上岗证
教育背景
20xx年9月至20xx年6月在育新就读；
20xx年9月至今在广西第一工业学校就读。
所获奖项
20xx年秋季学期获“优秀团干”奖；
20xx年春季期获“社团表现突出”奖等。
曾任职务
20xx年-08机电（1）班团支书到至今
社会实践
20xx年7月到外当兼职生
20xx年6到餐厅当过服务员
20xx年2月-3月在棋x馆前台收银员
兴趣爱好
打羽毛球、听音乐、文学等。
个人评价
在生活中待人诚恳、乐于助人，乐观向上，重信誉，和周围的人相处融洽，敢于创新，思维敏捷，有责任心。
求职意向
前台接待、文员、营业员、服务员等
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英语能力
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计算机能力
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计算机应用能力初级
获奖情况
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工作经验
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在日新塑胶有限公司工作两年 ，从事真空蒸镀技术员一职，主要操作蒸镀设备完成生产任务和日常的保养维护与一般性技术问题的解决，也为该厂提高了生产效率。
个性特长
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备 注
基于微机电系统CAD研究分析
微机电系统(MEMS)的计算机辅助设计(CAD)是MEMS实现商品化的重要基础,CAD技术在MEMS研究过程中具有非常重要的作用.本文概述了微机电系统CAD的.研究进展,并介绍了国外在该领域的研究工作.重点研究了微机电系统中的耦合场分析和宏模型与系统级模拟等关键技术问题,针对其与传统机电系统的不同,总结了微机电系统CAD的特点,并据此提出了微机电系统的设计原则.以便能提高微型机电系统的设计质量,缩短研制周期,使之及早走向工业化.
作 者：陈蓉晖 作者单位：湘潭职业技术学院,机电系,湖南,湘潭,411102 刊 名：咸宁学院学报 英文刊名：JOURNAL OF XIANNING COLLEGE 年，卷(期)：2009 29(3) 分类号：P393 关键词：微机电系统(MEMS) 计算机辅助设计(CAD) 设计原则