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行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟
摘要：针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究.通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化.根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参数的关系,特别是反应腔内对流涡旋的'产生和发展作了较全面的分析和讨论,给出了抑制对流涡旋、获得薄膜生长所需的最佳输运过程的条件. 作者： 左然[1] 张红[1] 刘祥林[2] Author： ZUO Ran[1] ZHANG Hong[1] LIU Xiang-lin[2] 作者单位： 江苏大学能源与动力工程学院,江苏,镇江,21中国科学院半导体研究所,北京,100080 期 刊： 工程热物理学报 ISTICEIPKU Journal： JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS 年，卷(期)： , 26(4) 分类号： H8115 Q4725 关键词： 化学气相沉积 输运过程 热对流 数值模拟 机标分类号： TQ3 TN3 机标关键词： 行星式 化学气相沉积 反应器 对流涡旋 输运过程 反应腔 外部参数 模拟研究 模拟结果 流量组合 进口 几何尺寸 二维数值 薄膜生长 相应变 导流管 压强 温度 位置 基金项目： 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，江苏大学校科研和教改项目 行星式化学气相沉积反应器内对流涡旋的数值模拟[期刊论文] 工程热物理学报 --2005, 26(4)左然 张红 刘祥林针对三重进口行星式CVD反应器的输运过程进行了二维数值模拟研究.通过改变反应腔几何尺寸、导流管位置、三重进口流量组合、压强、温度等条件,研究反应器内对流涡旋的相应变化.根据模拟结果,对这类反应器中输运现象与外部参...火烧炉内气相燃烧过程的三维数值模拟
本文对某工业火烧炉内的三维湍流气相燃烧场特性进行了数值模拟,湍流模型采用可实现k-ε双方程模型,湍流燃烧采用有限速率/涡耗散模型,辐射换热采用P1模型,数值方法采用SIMPLE算法,实现了炉内火烧试验的数值再现,特别考察了入口压力、燃料/空气比、多烧嘴不同组合工况等因素对炉内温度场和流场的影响,并对该火烧炉的'运行提出了一些合理化建议,为其实际运行提供了有益的参考.
作 者：史光梅 李明海 罗群生 陈均 刘朝 SHI Guang-mei LI Ming-hai LUO Qun-sheng CHEN Jun LIU Chao 作者单位：史光梅,李明海,罗群生,陈均,SHI Guang-mei,LI Ming-hai,LUO Qun-sheng,CHEN Jun(中国工程物理研究院结构力学研究所,绵阳,621900)刘朝,LIU Chao(重庆大学动力工程学院,重庆,400044)
刊 名：强度与环境 ISTIC英文刊名：STRUCTURE & ENVIRONMENT ENGINEERING 年，卷(期)： 34(1) 分类号：V2 关键词：数值模拟 火烧炉 圆湍射流 气相燃烧气升式内循环反应器内的气含率与液体循环
摘要：研究了气升式内循环反应器内的气含率与液体循环.反应器包含一个传统的导流筒和三段缩放型导流筒.通过实验分别对气-水、气-CMC(羧甲基纤维素)溶液两相系统和气-水-树脂颗粒三相系统进行了研究.用两相漂移通量模型对三相牛顿流体和两相非牛顿流体进行了评价.结果表明,三段缩放型导流筒内的气含率高于传统的.导流筒,且随表观气速而提高.在两相和三相系统中,导流筒结构参数的变化对气含率的影响很小.基于漂移通量模型的数学模型很好地描述了反应器内的液体循环.Abstract：Gas holdup and liquid circulation in an internal airlift loop reactor were investigated. The reactor consists of one conventional draft tube and three convergence-divergence draft tubes. Experiments were carried out in two-phase systems with air-water and air-CMC (carboxyl methyl cellulose) solutions and in three-phase system with air-water-resin particles, respectively. The two-phase drift-flux model was used to estimate gas holdup for three-phase Newtonian and two-phase non-Newtonian systems. It is shown that gas holdup in convergence-divergence draft tube is higher than that in conventional draft tube and increases with superficial gas velocity. The variation of structural parameters of draft tubes has little effect on gas holdup in the two-phase system and the three-phase system. The mathematical model, which is based on drift-flux model, can describe the liquid circulation in reactor satisfactorily.作 者：任源 韦朝海 吴超飞 谢波 肖宏亮 作者单位：华南理工大学,化工学院,广东,广州,510640 期 刊：华南理工大学学报(自然科学版) ISTICEIPKU Journal：JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION) 年，卷(期)：, 30(3) 分类号：X505 关键词：气升式内循环反应器 缩放型导流筒 气含率 液体循环 漂移通量模型 Keywords：internal airlift loop reactor convergence-divergence draft tube gas holdup liquid circulation drift-flux model气升式内环流超声化学反应器降解五氯酚离子溶液
对气升式反应器中超声降解五氯酚离子作了研究,取得了良好的'效果.实验结果表明,气体对气升式反应器降解五氯酚离子的效果依次为氧气>空气>氮气,但是随着空气流量增大,降解率降低;声强越大,降解率越大,降解助剂CCl4适宜的量为5 mL/L.由于该装置易于工程放大,所以在工业应用方面有着广阔的前景.
作 者：徐宁 吕效平王延儒 XU Ning L(U) Xiao-ping WANG Yan-ru 作者单位：南京工业大学,化学化工学院,江苏,南京,210009 刊 名：南京工业大学学报（自然科学版） ISTIC PKU英文刊名：JOURNAL OF NANJING UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION) 年，卷(期)： 27(3) 分类号：X783 关键词：气升式 声化学反应器 降解 五氯酚离子堇青石基体化学气相沉积碳化硅薄膜及其性能表征
采用等温等压化学气相沉积技术,分别以CH3SiCl3-H2和SiCl4-CH4-H2为气源,在沉积温度1100和1000℃、压力101kPa条件下,制备了SiC薄膜.利用SEM和XRD、显微拉曼光谱、EDAX元素分析、HRTEM等测试技术对沉积薄膜的结构和组成进行了表征.结果表明,1100℃时,以CH3SiCl3-H2为气源沉积得到纯净的SiC薄膜,以β-SiC(111)面择优定向生长,由微米级的金字塔锥形结构组成,硅含量随着沉积温度降低而增加;以SiCl4-CH4-H2为气源沉积得到非晶态碳掺杂的SiC薄膜,碳含量随着沉积温度降低而增加此外,以CH3SiCl3-H2为气源沉积的SiC颗粒平均粒径均比以SiCl4-CH4-H2为气源的粒径大.前者SiC薄膜的`方块电阻在kΩ级以上,且随着沉积温度的下降急剧升高;后者1100℃时制备的薄膜的方块电阻在kΩ级以上,且随着沉积温度的降低而急剧下降,1000℃时降低到Ω级.
作 者：尹博文 杨艳 马兵 张伟刚 YIN Bo-wen YANG Yan MA Bing ZHANG Wei-gang 作者单位：尹博文,杨艳,YIN Bo-wen,YANG Yan(中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室,北京100190;中国科学院研究生院,北京100049)马兵,张伟刚,MA Bing,ZHANG Wei-gang(中国科学院过程工程研究所多相复杂系统国家重点实验室,北京,100190)
刊 名：过程工程学报 ISTIC PKU英文刊名：THE CHINESE JOURNAL OF PROCESS ENGINEERING 年，卷(期)：2008 8(3) 分类号：O484 关键词：化学气相沉积 β-SiC 堇青石 表征